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石英振子式氣體接近開關傳感器由直徑為數(shù)微米的石英振動盤和制作在盤兩邊的電極構成。當振蕩信號加在器件上時,器件會在它的特征頻率發(fā)生共振。振動盤上淀積了有機聚合物,聚合物吸附氣體后,使器件質(zhì)量增 加,從而引起石英振子的共振頻率降低,可通過測定共振頻率的變化來識別氣體。利用這個原理制成的石英振子式氣體接近開關傳感器,對特定氣體分子的靈敏度高,選擇性好,結(jié)構簡單,可在常溫下使用,補充了其他氣體接近開關傳感器的不足,發(fā)展前景良好。
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