和MEMS工藝制作的可控制溫度的電導(dǎo)敏感元件。如在中央部位表面利用納米材料制作氣體敏感薄膜，則該元件即成為氣體微傳感器的基礎(chǔ)元件，可用于摧各種類型的氣體微傳感器以及微傳感器陳列。這種微光電開(kāi)關(guān)傳感器的優(yōu)勢(shì)在于體積小，功耗低、可批量生產(chǎn)，隨之而來(lái)的問(wèn)題則在于硅基底材料的立體加工工藝、元件的可靠性以及元件與敏感材料之間的兼容性等。
利用上述元件制作 的一種SNO2氧化物薄膜氣體微傳感器的結(jié)構(gòu)。SNO2氧化物薄膜對(duì)氣體的敏感特性是與溫度有關(guān)的，主要原因在于氣體分子在表面的吸/脫附過(guò)程、氣體分子在表面的吸附量、反應(yīng)速度等均與溫度有關(guān)。
此外，溫度還會(huì)引起微結(jié)構(gòu)的尺寸變化。因此，這種SNO2氧化物薄膜結(jié)合可控溫元件的微傳感器比起傳統(tǒng)形式的SNO2氧化物薄膜氣體微傳感器有明顯的優(yōu)勢(shì)。
溫度控制在元件特性方面的作用在元件的制作 方面，需要考慮的因素主要有加溫元件的益以及表面薄膜制作時(shí)微結(jié)構(gòu)的控制。溫度的變化導(dǎo)致元件對(duì)各種氣體成分的敏感特性改變，因此可愛(ài)過(guò)對(duì)元件工作溫度的控制，調(diào)節(jié)敏感元件的氣體敏感特性。為集成有九個(gè)敏感元件的器件，所以熱慣性小，溫度變化率比較高。
需要注意的是，這種敏感元件的加熱器是采用脈沖式電流進(jìn)行加熱的。 |
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